TZS、XZS系列數顯真空干燥箱

產品簡介：

TZS、XZS系列數顯真空干燥箱是采用真空泵將箱內的空氣抽出，讓箱內成為負壓，使產品在一個真空的狀態下做試驗，主要用來干燥樣品，也可以提供實驗所需的溫度環境。適用于電子產品生產過程的脫泡、脫水、硬化和潔凈處理后的干燥等真空狀態環境下的熱處理，特別適合于對干燥熱敏性、易分解、易氧化物質和復雜成分物品進行快速高效的干燥處理。廣泛應用于半導體、鋰電子電池、 LED 光電元器件、晶振等電子產品以及生物化學

產品型號：

更新時間：2025-11-10

廠商性質：生產廠家

訪問量：1577

服務熱線

400-001-0304

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

數顯真空度干燥箱

數顯真空干燥箱

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半導體制造：數顯真空干燥箱為光刻膠、硅片干燥保駕護航

真空干燥箱在半導體中的應用

干燥效率低時有哪些具體的解決方法？

真空干燥箱在熱敏感物質干燥中起到什么作用

數顯真空干燥箱使用時干燥過程和真空度的控制

產品介紹

真空干燥箱

用途概述

TZS、XZS系列數顯真空干燥箱是采用真空泵將箱內的空氣抽出，讓箱內成為負壓，使產品在一個真空的狀態下做試驗，主要用來干燥樣品，也可以提供實驗所需的溫度環境。適用于電子產品生產過程的脫泡、脫水、硬化和潔凈處理后的干燥等真空狀態環境下的熱處理，特別適合于對干燥熱敏性、易分解、易氧化物質和復雜成分物品進行快速高效的干燥處理。廣泛應用于半導體、鋰電子電池、 LED 光電元器件、晶振等電子產品以及生物化學、化工制藥、醫療、農業、環保等研究應用領域。

TZS、XZS系列數顯真空干燥箱產品特點

※大屏幕液晶儀表，多組數據整屏三色顯示，智能化操作界面，簡單易懂，便于操作；

※具有自我診斷功能，當出現故障時，顯示屏可直接讀取故障代碼，故障情況一目了然；

※微電腦PID溫度控制器，帶有定時功能，具有超溫報警、超溫保護功能，控溫準確可靠。

※箱體外殼表面靜電噴塑，內膽及載物拖架均采用不銹鋼材料，造型美觀，經久耐用；

※箱門具備大視角透明玻璃觀察窗，可觀察樣品可恒溫保溫，抽屜式載物架（僅限外加熱）

※經典長柄鋅合金門把手，旋轉式兩級鎖結構，確保密封圈與門緊密結合，保溫保壓性能佳。

※可根據實驗需要設定報警溫度點，溫度偏高或超過設定溫度將自動報警；

※內膽與殼體之間采用玻璃纖維棉作為隔熱保溫材料，更加有效的減少熱量損失，節能環保；

※具有漏電、短路、過熱、過載等多重保護，具有因停電死機防止丟失數據的參數記憶功能。

※長方體內膽，采用不銹鋼材料，雙層玻璃觀察窗，便于觀察內部樣品情況；

※樣品的存儲、加熱、干燥等都是真空環境下運行，不氧化且干燥充分，不留殘余雜質；

※粉泡沫或顆粒狀樣品，在真空干燥內不會被吹散，可有效縮短干燥時間并消除氧化物爆炸可能；

真空干燥箱如何選型？

Ⅰ、溫度范圍（可選65℃、250℃、300℃、400℃、500℃、600℃）

Ⅱ、加熱方式（內加熱或外加熱）

1、內加熱：（N型）：隔板加熱

加熱元件固定于隔板下不可抽取，每層加熱區域均單獨對應一套液晶儀表及溫度傳感器，內加熱結構升溫迅速，控溫準確。

2、常用外加熱：四面加熱

加熱元件位于箱體四周輻射加熱，加熱無真空放電、短路及積碳等問題，隔板為網孔狀不銹鋼材質，隔板高度自由調節可拆卸，便于清潔。

Ⅲ、數顯真空箱（TZS系列）

對真空度要求準確或需聯動控制真空度，無需人工值守，優先選擇真空度數顯功能，可定制PLC編程控制。

IV、容積大小（尺寸可任意定制）

根據樣品大小，選擇不同內膽容積，如有特殊尺寸可選擇定制。

V、多箱一體式真空干燥箱（XZ、XZS）

可定制2層、3層等多層疊加式真空干燥箱，一體式結構。

可選配件

程序控制：P系列或彩色觸摸屏

可根據工藝需求設定加熱、真空保持保持時間，確保每批次烘烤一致性。

碳鋼隔音柜：與箱體呈一體結構，站立操作方便省心，可內置真空泵等配套設備，既美觀亦可節約空間，降低噪音污染；

溫控表：液晶顯示表，程控液晶顯示表，彩色觸摸屏儀表

真空表：①代指針表，②代數字顯示顯表，③代彩色觸摸屏儀表

旋片式真空泵（V系列油泵）、防腐隔膜真空泵（VGM系列無油泵）；

真空接口：標配寶塔頭，可選配KF16、KF25、KF40、KF50等接口；

真空波紋管：不銹鋼耐高溫可彎曲，可選KF16、KF25、KF40、KF50等口徑；

可選配件：油霧過濾器、嵌入式打印機、獨立限溫控制器、惰性氣體進氣閥、氣體流量計、RS485接口、USB（不含U盤，如需要可加購）

真空分類	壓力范圍	特點
低真空	10?~102Pa（100000~100Pa）	壓力接近大氣壓，氣體分子密度較高，主要利用“氣壓差"實現物理效應
中真空	102~10?1Pa（100~0.1Pa）	氣體分子間碰撞減少，開始體現“真空特性"，如降低沸點、減少氣體干擾
高真空	10?1~10??Pa（0.1~0.00001Pa）	氣體分子密度極低，幾乎無碰撞，適合需要“純凈環境"或“高精度控制"的場景
超高真空	<10??Pa（<0.00001Pa）	氣體分子極少（接近宇宙空間）表面吸附效應顯著，僅用于精密的科學研究或技術

技術參數

名稱	程控數顯真空干燥箱
產品型號	TZS-6030LVP	TZS-6050LVP	TZS-6090LVP	TZS-6125LVP	TZS-6150LVP	TZS-6210LVP	TZS-6250LVP	TZS-6430LVP
產品型號	TZS-6030LV-I	TZS-6050LV-I	TZS-6090LV-I	TZS-6125LV-I	TZS-6150LV-I	TZS-6210LV-I	TZS-6250LV-I	TZS-6430LV-I
電源電壓	AC220V 50Hz						AC380V 50Hz
真空儀表	LVP型為分體式控制（真空表②代數顯5段可編程、程序液晶溫控表）/LV-I型為一體式控制（多功能彩色觸摸屏）
加熱方式	外加熱
控溫范圍	RT(室溫)+10~250℃
恒溫波動度	±0.5℃
溫度分辨率	0.1℃
真空范圍	≤133Pa
輸入功率	650W	1270W	1870W	2770W	3000W	3550W	4750W	7950W
內膽尺寸WDH(mm)	320320300	415370345	450450450	500500500	500500600	560600640	600600700	630810845
外形尺寸WDH(mm)	6355151000	5755101130	6155901235	6606401290	6907051520	7207351560	7607401610	100010401855
公稱容積	30L	50L	90L	125L	150L	210L	250L	430L
隔板數量	1塊	2塊	2塊	3塊	3塊	3塊	3塊	4塊
內膽材質	304不銹鋼
定時范圍	1~9999min
標準配件	旋片式真空泵、碳鋼隔音柜
可選配件	PLC可編程邏輯控制器、惰性氣體進氣閥、RS485接口、嵌入式打印機

名稱	多箱一體式真空干燥箱			多箱一體式數顯真空干燥箱			多箱一體式真空干燥箱
產品系列	XZ-50-Ⅱ 兩層	XZ-91-Ⅱ 兩層	XZ-125-Ⅱ 兩層	XZS-50-II 兩層數顯	XZS-91-II 兩層數顯	XZS-125-II 兩層數顯	XZ-91-III 三層	XZ-141-III 三層	XZ-151-III 三層
電源電壓	AC220V 50Hz			AC220V 50Hz			AC220V 50Hz	AC380V 50Hz
儀表控制	①代指針式真空表、溫控液晶顯示			②代數顯真空表，溫控液晶顯示			①代指針式真空表，溫控液晶顯示
加熱方式	外加熱			外加熱			外加熱
控溫范圍	RT+10~250℃			RT+10~250℃			RT+10~250℃
恒溫波動度	±0.5℃			±0.5℃			±0.5℃
溫度分辨率	0.1℃			0.1℃			0.1℃
真空范圍	≤133Pa			≤133Pa			≤133Pa
輸入功率	2200W	3300W	3800W	2200W	3300W	3800W	3500W	4500W	6000W
內膽尺寸 WDH(mm)	415370345 (單箱內膽)	450450450 (單箱內膽)	500500500 (單箱內膽)	415370345 (單箱內膽)	450450450 (單箱內膽)	500500500 (單箱內膽)	450450450 (單箱內膽)	380600620 (單箱內膽)	750530380 (單箱內膽)
公稱容積	單箱50L	單箱91L	單箱125L	單箱50L	單箱91L	單箱125L	單箱91L	單箱141L	單箱151L
隔板數量	單箱2塊	單箱2塊	單箱3塊	單箱2塊	單箱2塊	單箱3塊	單箱2塊	單箱3塊	單箱3塊
定時范圍	1~9999min			1~9999min			1~9999min
內膽材質	304不銹鋼			304不銹鋼			304不銹鋼
可選配件	PLC可編程邏輯控制器、惰性氣體進氣閥、氣體流量計、冷阱、油霧過濾器、RS485接口、嵌入式打印機