用途概述

半導體多箱一體式真空干燥箱是采用真空泵將箱內的空氣抽出，讓箱內大氣壓低于常壓，使產品在一個很干凈的狀態下做試驗，主要用來干燥樣品，也可以提供實驗所需的溫度環境。適用于電子產品生產過程的脫泡、脫水、硬化和潔凈處理后的干燥等真空狀態環境下的熱處理，特別適合于對干燥熱敏性、易分解、易氧化物質和復雜成分物品進行快速高效的干燥處理。廣泛應用于半導體、鋰電子電池、LED光電元器件、晶振等電子產品以及生物化學、化工制藥、醫療、農業、環保等研究應用領域。

產品特點

u 半導體多箱一體式真空干燥箱大屏幕液晶儀表，多組數據整屏三色顯示，智能化操作界面，簡單易懂，便于操作；

u 具有自我診斷功能，當出現故障時，顯示屏可直接讀取故障代碼，故障情況一目了然；

u 采用具有超溫偏差保護、液晶屏顯示的微電腦P.I.D溫度控制器，帶有定時功能，控溫準確可靠；

u 箱體外殼表面靜電噴塑，內膽及載物拖架均采用不銹鋼材料，造型美觀，經久耐用；

u 經典長柄鋅合金門把手，旋轉式兩級鎖結構，確保密封圈與門緊密結合，保溫保壓性能佳；

u 箱門具備大視角透明玻璃觀察窗，可觀察樣品可恒溫保溫，抽屜式載物架，隔板間距可調；

u 可根據實驗需要設定報警溫度點，溫度偏高或超過設定溫度將自動報警；

u 內膽與殼體之間采用玻璃纖維棉作為隔熱保溫材料，更加有效的減少熱量損失，節能環保；

u 具有漏電、短路、過熱、過載等多重保護，具有因停電死機防止丟失數據的參數記憶功能；

u 長方體內膽，采用不銹鋼材料，鋼化雙層玻璃觀察窗，便于觀察內部樣品情況；

u 樣品的存儲、加熱、干燥等都是真空環境下運行，不氧化且干燥充分，不留殘余雜質；

u 粉泡沫或顆粒狀樣品，在真空干燥內不會被吹散，可有效縮短干燥時間并消除氧化物爆炸可能；

內加熱：即隔板加熱，加熱元件固定于隔板下不可抽取，每塊隔板均單獨配一套傳感器及儀表，升溫快控溫準確。

外加熱：四面加熱，加熱元件位于箱體四周輻射加熱，加熱無真空放電、短路及積碳等問題，隔

板為網孔狀不銹鋼材質，隔板高度自由調節可拆卸，便于清潔；

TZF系列（臺式）

250度真空干燥箱（臺式系列）：①代指針真空表、溫度控制（液晶不含程序）；

300度真空干燥箱（U系列）：①代指針真空表，溫度控制為液晶(不含程序）經過升級改造一些和特殊工藝密封處理，；

耐腐蝕真空干燥箱（A系列，TFL系列）

316不銹鋼和特氟龍涂層兩種均可防腐蝕耐酸堿

PTFE特氟龍可抗物質（++表示很好，+表示好）

10%鹽酸++、10%硫酸++、10%醋酸++10%磷酸++10%乳酸++、10%檸檬酸++三氯乙烯+、全氯乙烯+10%氫氧化鉀++10%氫氧化鈉++、10%氨水++

TZF系列（L立式）、TZS數顯系列（L系列）、TZS程控數顯系列（LP、LT）、XZ多箱系列

立式真空干燥箱（L系列）：落地結構，含下箱柜和真空泵、溫控為液晶顯示，真空表為①代指針式；

數顯真空干燥箱（TZS系列）：采用數字技術控制真空度，真空度數字顯示，真空表為②代數顯屏;

程控數顯真空干燥箱（LP、LT）：采用數字技術控制真空度，真空度數字顯示，真空表為②代數顯屏;

真空干燥箱——內加熱（B系列）：采用數字技術控制真空度，真空度數字顯示，真空表為②代數顯屏;

多箱一體式（數顯）真空干燥箱（XZ系列、XZS系列）：多箱疊加，每個箱體可獨立控溫、獨立抽真空；

可選配件

程序控制：P系列或彩色觸摸屏

可根據工藝需求設定加熱、真空保持保持時間，確保每批次烘烤一致性。

碳鋼隔音柜：下箱體柜

1.與箱體呈一體結構，有效節約空間，站立操作方便省心；

2.柜內放置真空泵等配套設備，可節約空間，降低噪音污染；

冷阱：內嵌式（置于下箱體內），可定制一體機配套任意真空箱使用

冷阱為低溫冷凝裝置，置于真空泵前端，箱體內加熱產生的水蒸氣經該裝置冷凝后，既可將抽出的水蒸氣凝結成液體存儲于冷阱內，亦可同時降低氣體混合物的溫度，有效保護真空泵。

獨立限溫控制器：②代數字顯示表

溫控表：液晶顯示表，程控液晶顯示表，彩色觸摸屏儀表

真空表：①代指針表，②代數字顯示顯表，③代彩色觸摸屏儀表

油霧過濾器、嵌入式打印機、RS485接口，USB （可選配U盤）

真空泵：可選配旋片式真空泵（油泵）或者隔膜真空泵（無油泵）；

真空接口：標配寶塔頭，可選配KF16、KF25、KF40、KF50等接口；

真空波紋管：不銹鋼耐高溫可彎曲，可選KF16、KF25、KF40、KF50等口徑；

惰性氣體進氣閥（氣體流量計需額外選配）

可根據工藝需求設定加熱、真空保持和氮氣保持時間，確保每批次烘烤一致性。

技術參數